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超纯水定义与应用
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 596天前 | 442 次浏览 | 分享到:
GB/T11446.1-1997 中国国家电子级超纯水水质

超纯水定义:
      超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。

超纯水制备工艺:
    超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,其电阻率大于18 MΩ*cm,或接近18.3 MΩ*cm极限值(25℃)。简单得说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水 [2]  。这样的水是一般工艺很难达到的程度,理论上可以采用二级反渗透再经过EDI电除盐张志,储备环节采用高纯度氮气进行保护;最终供水经过电子级树脂进行痕量离子的吸附。